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微电子领域

2023-10-11

你是否曾经想过,我们的半导体晶圆在生产过程中会遇到良率下降的问题?良率下降不仅意味着生产成本的增加,更意味着我们失去了一次创新的机会。而这个问题,其实与清洗的设备、液体纯度、颗粒物、金属离子等都有关。

在半导体的生产过程中,清洗是必不可少的环节。从硅片制造开始到芯片封装,晶圆有30%-40%的时间处于清洗。清洗可以去除晶圆表面的污垢、颗粒物和金属离子等杂质,从而确保产品的质量和性能。在清洗过程中,如果清洗液的纯度不够高,或者清洗设备的技术不够先进,不仅很难彻底去除这些杂质,还会析析出或形成新的污染物,对晶圆造成损伤。

凯磁医疗的全磁悬浮洁净泵采用了先进的全磁悬浮技术的洁净泵,利用磁场力使桨叶悬浮于空气中,并通过磁场控制和每秒数万次的高频率监测,使桨叶实现稳定悬浮和高速旋转,从而驱动泵内液体稳定地输送。这种无接触、无磨损的技术不仅可以保证液体的纯度。其次,高纯度材料的过流组件,确保在液体输送过程中不会析出污染物,有效防止颗粒物和金属离子的引入,提高制程品良率。

此外,半导体晶圆的清洗还需要考虑到各种因素,如流量、压力等等。而全磁悬浮洁净泵可以通过精确控制这些参数,实现对晶圆表面进行高效、均匀的清洗。这不仅可以提高产品的良率,还能够缩短生产周期,降低生产成本。

凯磁医疗的全磁悬浮洁净泵作为一种先进的清洗设备,在半导体晶圆的生产过程中以其独特优势扮演着重要的角色。不仅能够实现晶圆高效、高纯度的清洗,确保生产工艺,还能够提高产品的良率,降低生产成本。